做小芯片切割的朋友,肯定都被“飞芯”逼疯过吧?尤其是切割0.5mm以下的小尺寸芯片,本来芯片就小,和划片膜的粘合面积又少,再加上切割水要不停冲刷带走硅屑,

稍不注意芯片就被水流冲飞——不仅浪费材料,飞出去的芯片还可能撞坏切割刀,引发二次损失,良率和效率双翻车!

试过降切割水流量?硅屑冲不走会污染芯片;换高粘性UV划片膜?又怕UV光影响芯片工艺。别愁了!江苏芯德半导体的乔新春团队公开的一项专利,

直接给出了破局方案:就靠切割时多留一点“预留量”,让边缘废芯片不切开,轻松解决飞芯问题,不用改设备、不用换材料,还不影响有效芯片数量,堪称小芯片切割的“救星”~

一、先搞懂:小芯片为啥总飞芯?传统方案全是坑

先给刚入行的朋友科普下核心痛点:晶圆切割是把整片硅片切成一个个独立芯片,小芯片(0.5mm以下)因为尺寸太小,和划片膜的粘结力本来就弱。而切割过程中,

必须用切割水冲刷晶圆表面,一方面降温,另一方面带走切割产生的硅屑——这股水流冲击力,很容易把边缘的非完整芯片(也就是废芯片)冲下来,这就是“飞芯”。

更麻烦的是,现有解决办法全有后遗症,根本没法兼顾:

对做小芯片加工的企业来说,飞芯问题就像“魔咒”,要么接受高损耗,要么牺牲产能,一直没找到两全的办法。

二、核心方案:一招“预留切割”,让边缘废芯片成“防护墙”

其实这套方案的核心思路特别简单:不追求把整片晶圆全切开,而是让边缘的废芯片保持“连在一起”的状态,靠整体的粘结力抵抗切割水冲击,

从根源上避免飞芯。整个流程和传统切割差不多,关键就多了“设置预留量”这一步,具体分2大步走:

第一步:常规X轴切割,把晶圆切成条状

先给晶圆贴好划片膜,然后让切割刀沿着X轴方向(第一方向)多次切割,把整片晶圆切成一个个长条状——这一步和传统切割完全一样,不用做任何改动,企业不用重新适应流程。


第二步:Y轴切割留“预留量”,边缘废芯片不切开

重点来了!接下来切割刀沿着和X轴垂直的Y轴方向(第二方向)切割时,要在切割系统里预先设置“预留量”——简单说,

就是切割刀每次切割的距离都缩短一点,不切到晶圆边缘,让边缘的废芯片始终连在一起,形成一个完整的“边框”。


这个“预留量”可不是随便定的,定少了还是会飞芯,定多了会把有效芯片留在边框上,影响取芯数量。专利里给了精准的计算方法,新手也能直接用:

举个直观的例子:传统切割会把Y轴方向的切割线直接切到晶圆边缘,边缘废芯片被切成单个,一冲就飞;而这套方案的Y轴切割线离边缘有一段预留距离,

废芯片还是连在一起的整体,粘结力足够,再大的水流也冲不飞。

三、核心优势:为啥说这是小芯片切割的“最优解”?

这套方案能解决行业痛点,核心靠3个实打实的优势,每一个都戳中企业的需求:

四、落地价值:小芯片加工企业的“降本提效神器”

对做小尺寸芯片(0.5mm以下)切割的企业来说,这套方案的实用价值直接拉满:

首先是降损耗:不用再为飞芯浪费芯片和切割刀,废品率大幅降低,直接节省材料和耗材成本;其次是提效率:不用频繁停机处理飞芯、更换切割刀,生产流程更顺畅,

产能自然提升;最后是适配性强:不管是硅基还是其他材质的小芯片,不管是8英寸还是更大尺寸的晶圆,都能适用,还能兼容现有所有切割设备,不用做任何工艺调整。

现在小芯片的需求越来越大,切割精度和良率的要求也越来越高。这套“预留切割”方案,不用复杂改造,就能轻松解决飞芯这个老大难问题,对中小企业来说,

无疑是降本提效、提升市场竞争力的好办法。相信随着这套技术的普及,小芯片切割再也不用受飞芯的困扰了~