MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 涂布机

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MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 涂布机

MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 涂布机

MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 涂布机MUSASHI武藏 FAD5100S-WH 涂布机高精度晶圆管理解决方案用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)・ 不停止连续动作的高速涂布・ 不停止连续动作的高速对准:　Mu SKY Capture机能・ 涂布量自动化:DVM机能・ 形成…

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Product Detail

MUSASHI武藏  FAD5100S-WH  涂布机

MUSASHI武藏  FAD5100S-WH  涂布机

高精度晶圆管理解决方案
用晶圆数组对应软件重新映射生产、丝线检查的结果(符合SECS/GEM)

・ 不停止连续动作的高速涂布
・ 不停止连续动作的高速对准:
　Mu SKY Capture机能
・ 涂布量自动化:DVM机能
・ 形成理想的涂布模式“叶线”:MCD机能[PAT.P]
・ 防止大量不良于未然:AFC机能
・晶圆映射功能搭载
・可与EFEM连接的全部自动生产
・韦赫、FOUP应对
・晶圆映射功能
・结果重新映射(SECSGEM对应) ※选配项

EFEM是晶圆的加载、卸载进行模块机器,负责从收纳晶圆的钩子(FOUP:Fonform Unified Pod)和被称为晶圆盒式的容器中,一边保持清洁室的标准,一边自动取出晶圆,运到工艺装置中有。

名称
全自动晶圆级点胶赛车FAD5100S-WH
型号
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(符合SMEMA)
适用工件台
12“韦赫,8”韦赫