KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量计

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KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量计KOFLOC 科赋乐 ST-500 质量流量计PI...Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体DeviceNetEtherCAT通信对应W型密封圈接头"使用SP.精度高精度计…

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Product Detail

KOFLOC 科赋乐  ST-500  质量流量计

KOFLOC 科赋乐  ST-500  质量流量计

PI...Pressure Insensitive 压力变动也可控制流量稳定

采用隔膜式的全金属密封MFC，经过EP处理以及氧化覆膜处理，可以对应腐蚀性流体

DeviceNet·EtherCAT通信对应

W型密封圈接头

"使用SP.精度高精度计测

全流量控制范围响应性1sec以内”

可使用专用软件进行量程切换


MODELST-500
传感器类型热式绕组传感器
阀 门比例电磁阀(断电时关闭)
流量量程(N2计算)100SCCM～10SLM30SLM
控制范围2～100%F.S.
响应性lsec以内
精度±1%S.P. (10～100%F.S.) ±0.1%F.S. (2～10%F.S.)
重现性±0.2%F.S.
动作压差50～300kPa200～300kPa
入口最大压力300kPa(G)
耐压1MPa(G)
PI机能Overshoot±2%F.S.
外部泄露率1×10-11Pa ·m3/sec以下
允许环境温度5～50℃
允许环境温度15～40℃
精度保证温度0～60℃
允许保存湿度0～80%RH(未出现冷凝)
接触气体部位材质SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni
通讯接口DeviceNet M12(Male)5pin
电源11～25VDC(5VAmax)
接头尺寸

1.125”Wシール92mm
1/4VCR相当

重量约1000g

※保证精度以N2 为准
※PI功能规格为流量 SV5~100%F.S.范围内对±3%PSI的供给压力变动
※规格、外观等有可能发生变化

传统的质量流量控制器，会有一个课题就是，在供给侧的压力发生急速变化时，瞬间流量发生大的变化，控制会变的不稳定。

ST-500配备了解决这个课题的PI功能(PI…Pressure Insensitive 圧力鈍感性)

在流量传感器前段搭载压力传感器，因此讲捕捉到压力变动以及变动前的变化，实时修正阀的开度，达成针对压力变化也可以稳定控制流量。

适用于半导体设备制造 等，对于安定性和正确性等有要求的气体供给工艺。