KOFLOC 科赋乐 EX-201SC-RJ 质量流量计

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KOFLOC 科赋乐 EX-201SC-RJ 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 EX-201SC-RJ 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 EX-201SC-RJ 质量流量计KOFLOC 科赋乐 EX-201SC-RJ 质量流量计高精度(仕1%瞬时流量)在一定区间可修改全量程范围支持多范围、多气体、在免费提供的软件上操作简单口输出输入可选择0-5V/4-20mA电源也可以选择DC24V数字通信RS485(9600bps)常用性的连接头D…

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Product Detail

KOFLOC 科赋乐  EX-201SC-RJ  质量流量计

KOFLOC 科赋乐  EX-201SC-RJ  质量流量计

高精度(仕1%瞬时流量)

在一定区间可修改全量程范围

支持多范围、多气体、

在免费提供的软件上操作简单

口输出输入可选择0-5V/4-20mA

电源也可以选择DC24V

数字通信RS485(9600bps)

常用性的连接头

Dsub9针插头、RJ-45 模块化插孔x2

S.P.精度保证的高精度质量流量控制器

传落器类型热式绕线型
适用气体※1N₂ (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4)
流量量程※3 (0℃,tatm)10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim
控制范围2-100%(FS)
响应性所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical)
精度±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.)
重现性±0.2%FS
动作压差※450-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa)
入口最大压力500kPa(G)
耐压980kPa(G)
外部泄漏率1.0×10-⁸Pa ·m³/sec(He)以下
温度充许环境温度5~50℃
精度保证温度15~35℃
允许保存温度-10～60℃
允许环境湿度10～90%RH(未出现冷凝)
与气体接位部位的材 质SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，PTFE,PCTFE,FKM
电气连接Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45模块化插孔×2
流显设置信号V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((输入抗阻2502以上)
流量输出佰号V:0～5VDC(最小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(最小负载电阻5002以上)
数字通信RS485旋转开关的地址设置 可选(MODBUS-RTU9600bps)
所需电源24VDC(±10%)300mA以下
接头1/4SW(标准)
安装方位建议水平方向
重量MFC:约500g

※1 干燥，不含腐蚀性成分以及灰尘或茅状物的洁净气体
※2没有记载的气体换算成N2, 细则请另外联系销售人员。
※3流量校准单位SCCM.SLM分别表示在0℃,Iatm 时的cc m n.I.m n体积流量 可使用专用软件修改气体种类及在指定的全量程(F S:的30～100%
(仅C02,CI4 为30~80%)之问修改全量程范围。
※4动作压差可能会因规格不同而异。