KOFLOC 科赋乐 EX-550C 质量流量计

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KOFLOC 科赋乐 EX-550C 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 EX-550C 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 EX-550C 质量流量计KOFLOC 科赋乐 EX-550C 质量流量计它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面，RS485通信是标准配置。高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0%SP。口金属密封结构口高速应答及出色的零…

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KOFLOC 科赋乐 EX-550C  质量流量计

KOFLOC 科赋乐 EX-550C  质量流量计

它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。

SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面，RS485通信是标准配置。

高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0%SP。

口金属密封结构

口高速应答及出色的零点稳定性

口0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源

可从±15V或24V单电源选择

口电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器口通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。※流量是与N2气体的比率计算出的值:

口标准配备通讯功能(RS485)

口符合RoHS·CE标准

形式质量流量控制器
EX-550C		质量流量计
EX-550M
传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例螺线管阀门（未通电时关闭）–
目标气体（* 1）N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未列出的气体换算成N2）
流量范围（* 2）10 SCCM~5 SLM
控制范围（测量范围）2~100％（F.S.）
响应速度总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.）
L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa–
精度±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS）
再现性±0.2%F.S.
工作压差（* 3）50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa）–
最大入口压力350kPa（G）
耐压980kPa（G）
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度允许周围温度5～50℃
精度保证温度15～35℃
允许储存温度-10～60℃
允许环境湿度10～90%RH （无结露）
气体接触材料SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
HR-10A×2
流量设定输入信号0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
Or 4~20mA（输入电阻约250Ω）		–
流量输出信号0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
or 4~20mA（负载电阻500Ω以下）
数字通信通过RS485旋转开关设置地址
所需电源（DC）+15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下
or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下）
接头相当于1/4 VCR
安装姿势未指定
重量约800g约550g

（* 1）干燥气体，不含腐蚀性成分和灰尘，雾气等的干净气体。

（* 2）流量单位SCCM、SLM是将质量流量换算成0℃、1atm状态下的体积流量cc/min、L/min值。

（* 3）工作压差可能因规格而异。