KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量计

产品目录

KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量计KOFLOC 科赋乐 5410 质量流量计5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。口提高每个流量范围…

产品详情

Product Detail

KOFLOC 科赋乐 5410  质量流量计

KOFLOC 科赋乐 5410  质量流量计

5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。

虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。

它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。

口提高每个流量范围的精度

口适用于微流量(选项规格)

口由于无焊接结构(VCR规格)，金属密封，泄漏低

口价格便宜

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式热绕组传感器
准确性±1％F.S.（20°C）
温度系数0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性±0.2%F.S.（20°C）内
可工作压力300kPa（G）以下
耐压980kPa（G）
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C）
允许环境湿度10~90%RH（无结露）
气体接触材料车身SUS316L
隔膜Ni.Co
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
电气连接Dsub 9针KFC　标准（符合SEMI标准）
流量设定
输入信号		0~5 VDC（最小负载电阻250kΩ以上）
所需电源+15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（车身尺寸）标准1/4 VCR等效
重量约800g

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。

接线连接

Dsub 9针KFC标准引脚排列