KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计

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KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计MODEL3100系列是基于MODEL3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。口配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精…

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KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计

KOFLOC 科赋乐 3100 质量流量计

MODEL3100系列是基于MODEL3200系列开发的用于高精度流量测量的新型质量流量计。

这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器，可确保高速响应和长期稳定性。

口配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应

口F.S.1SCCM微流量支持(SR选项)

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（可选）
传感器方式热绕组传感器
响应速度1秒内
准确性±1％FS（15~35°C）
再现性在±0.2％FS（20°C）内
耐压980kPa（G）
He泄漏率（* 1）1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度0~50℃
允许环境湿度10~90%RH（无结露）
气体接触材料车身SUS316L
密封材料FKM（选件CR或NBR或Kallets）
电气连接Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量输出信号0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源+15 VDC（±5％）100 mA
-15 VDC（±5％）100 mA
接头
（体型）		标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）
选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量约800g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10-6Pa・m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。