KOFLOC 科赋乐 6610 压力控制阀

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KOFLOC 科赋乐 6610 压力控制阀

KOFLOC 科赋乐 6610 压力控制阀

KOFLOC 科赋乐 6610 压力控制阀KOFLOC 科赋乐 6610 压力控制阀与MODEL6600相比，新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好，能够快速准确地进行压力调节。本产品最适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。具有低压侧高精度控制的特性将压力设为0.01…

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KOFLOC 科赋乐  6610 压力控制阀

KOFLOC 科赋乐  6610 压力控制阀

与MODEL6600相比，新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好，能够快速准确地进行压力调节。

本产品最适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。

具有低压侧高精度控制的特性

将压力设为0.01~0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化，具有重现性在+1%以内的高控制性能。

不使用润滑油

接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成，不使用任何润滑油，最适合需要保持纯净状态的半导体领域等。

 防松螺母结构

通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置，可防止设定发生变化。

不渗液型

本产品属于不渗液型，不会发生气体外泄，请您放心使用。

用于气相色谱仪

用于高纯度气体控制

用于低压控制设备

用于半导体领域等

流体各种气体
一次侧最大压力0.4MPa
二次侧控制压力0.01〜0.15MPa
最大流量5L/MIN
最小工作压差0.1MPa以上
耐压力0.8MPa
重现性在额定压力的±1％范围内
环境温度5〜60℃
接口Rc1/8
流体接触部分材质SUS316、氟橡胶、硬质玻璃
氟树脂、SUS304、SUS303