产品目录
- YAZAWA矢泽科学
- KUBOTA久保田
- NFK南国工业株式会社
- ANALYZER第一热研
- EBARA荏原
- TORAY东丽
- ULVAC爱发科
- OHKURA大仓
- SUGIYAMA杉山电机
- SIBATA柴田
- HAYASHI林时计
- NEWKON新光
- ADVANTEC东洋
- KETT凯特
- HORIBA堀场
- DKK-TOA东亚电波
- 美国MW Industries, Inc
- MICROSTONE微石
- LEPTRINO
- 日东电工NITTO
- LINTEC琳得科
- KOFLOC 科赋乐
- DIT东日技研
- FUSO扶桑精机
- YODOGAWA淀川
- MUSASHI武藏
- NEW-ERA新时代
- FUJI Electric富士电机
- NDK电色
- EMIC爱美克
- Shimadzu岛津
- ADCMT爱德万
- FUJICON富士
- CHUKOH中兴化成
- MISAKA米卡萨
- MATSUO松尾电气
- TAITEC泰特克
- KASHIYAMA樫山工业
- KURABO仓纺
- Kakuhunt写真化学
- SUZUKEN铃研
- NISSINRIKA日伸理化
- ISUZU五十铃
- KOKUSAN科库森
- 日本ALP
- THOMAS托马斯
- 日本MAKE
- 东京迪莱克dylec
- 瑞典CEJN希恩
- Staubli史陶比尔
- 日本KIKUSUI菊水
- 日本琴平Kotohira
- 日本EIKOSOKKI
- 美国CPC
- Nichiryo 立洋
- KYOWA共和
- INFLIDGE英富丽
- 德国DI-SORIC
- 德国OPTRIS
- ASAHI-SPECTRA朝日分光
- TOKIMEC东机美
- SUN-KAGAKU 太阳科学
- HIRA CERAMICS比良陶瓷
- NIKKATO 日陶科学
- 派克PARKER
- 日本Luceo鲁机欧
- 日本Ashizawa
- ORC株式会社
- THINKY新基
- OGURA小仓
- 日本Sugiyama 杉山电机
LINTEC琳得科 MC-7200C 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-7200C 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-7200C 质量流量控制器超高速质量流量控制器，响应时间为200毫秒。热传感器实现了100毫秒（典型）的高速流量控制。 林泰克独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀实现了腐蚀性气体的超高速流量控制。流量精度1.…
产品详情
Product Detail
LINTEC琳得科 MC-7200C 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-7200C 质量流量控制器
超高速质量流量控制器，响应时间为200毫秒。
热传感器实现了100毫秒（典型）的高速流量控制。 林泰克独特的非接触式热流量传感器和压电控制阀实现了腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度±1.0%的高精度，数字通信方式可从DeviceNet和EtherCAT中选择。
在半导体制造过程中，需要在微型化的同时提高通量。
即使在控制反应气体流动的质量流量控制器中，缩短流量控制启动（上升）时间的需求也在不断增加。
超高速质量流量控制器[MC-7000]是一种非接触式热流量传感器，流量传感器与流量测量气体之间不接触，能够实现200毫秒的超高速响应。
非接触式设计允许对腐蚀性气体流量测量进行高速控制。
| 温度 | 最小差压 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 闵F.S. | 马克斯·F.S. | 印章 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | AU |
