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LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器DeviceNet通信兼容质量流量控制器。配备最新半导体制造设备的控制设备越来越多地在露天现场作业中通信，目的是实现高速控制和简化布线，而非模拟控制。林泰克是业内首家开发MC-500…
产品详情
Product Detail
LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器
LINTEC琳得科 MC-5200L 质量流量控制器
DeviceNet通信兼容质量流量控制器。
配备最新半导体制造设备的控制设备越来越多地在露天现场作业中通信，目的是实现高速控制和简化布线，而非模拟控制。
林泰克是业内
首家开发MC-5000L的企业，MC-5000L是一款符合SEMI标准的DeviceNet™通信质量流量控制器。
它配备了半导体制造所需的金属密封装置和独特的环境温度补偿流量传感器。 还有多种选择，如液化气体支持
半导体器件正日益用于控制现场网络。 DeviceNet通信的MFC（MC-5000L）无需AD/DA转换器或IO板，降低成本并节省布线。
| 温度 | 最小差压 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 闵F.S. | 马克斯·F.S. | 印章 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | AU |
