LINTEC琳得科 MC-3462L 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-3462L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3462L 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3462L 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-3462L 质量流量控制器高性能数字质量流量控制器，提供1%的S.P.保证。林泰克独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度流量测量。 它抑制了因热量对传感器产生的老化，并且即使在臭氧等高度降解气体…

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LINTEC琳得科   MC-3462L  质量流量控制器

LINTEC琳得科   MC-3462L  质量流量控制器

±高性能数字质量流量控制器，提供1%的S.P.保证。

林泰克独特的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度流量测量。 

它抑制了因热量对传感器产生的老化，并且即使在臭氧等高度降解气体中也能控制流量。

作为选装，配备高性能全能数字质量流量控制器，可处理液化气体、微流量速波、宽范围及面板和配件规格。

  • 微流F.S.

  • 液化气体兼容

  • 宽域

由于高反应性气体用于CVD（化学气相沉积）ALD沉积和蚀刻设备，因此高度耐腐蚀的金属密封气体质量流量控制器至关重要。

此外，前置物室温和室压下含有大量液态气体，因此具有耐热温度和阀门结构难以再液化非常重要。

 MC-3000L高精度质量流量控制器提供多种液化气体支持选项，最高工作温度为50°C（可选55°C）。

分析仪可能需要分析仪来控制微流量，但通用质量流量控制器的最低F.S.为5SCCM，因此微流量无法被控制。

 MC-3000L是一款高精度质量流量控制器，可选制造F.S.1SCCM或更低标准。 请联系我们获取详情。此外，MC-3000L这是一款高精度质量流量控制器，标配了具有小死容的隔膜阀。

温度最小差压最大压差精度控制范围闵F.S.马克斯·F.S.印章
5~50°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM400SLMAU

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