LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器

LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器LINTEC琳得科 MC-3102L-TC 质量流量控制器流量控制 最大120C，高温质量流量控制器，适用于无电时最高150C的环境。通过分离加热的接触气体部分和对热敏感的基板部分，可以控制高温下的气体。用于阻滞块，密封材料为SUS-316L，以…

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LINTEC琳得科  MC-3102L-TC 质量流量控制器

LINTEC琳得科  MC-3102L-TC 质量流量控制器

流量控制 最大120°C，高温质量流量控制器，适用于无电时最高150°C的环境。

通过分离加热的接触气体部分和对热敏感的基板部分，可以控制高温下的气体。

用于阻滞块，密封材料为SUS-316L，以兼容腐蚀性气体。

可选配置低压差规格以防止液化气体再液化，以及专用MFC加热加热接触气体部分的加热块。

  • 工作温度：最高120°C

  • 金属封条

  • 干净（保证粒子）

  • RS-485 通信

  • 液化气体兼容

  • 加热块

CVD和ALD原气在室温和室压下不一定是气体。液态或固体原料常在室温和室压下使用。液体和固体在室温下产生的气体较少，这使得利用压差流动气体的MFC难以控制流量。因此，原料罐加热并提高蒸汽压力以产生压差，以确保MFC的工作压力。MC-3000L-TC能够控制高温和低压差，非常适合液化气体和升华气体的流量控制。

温度最小差压最大压差精度控制范围闵F.S.马克斯·F.S.印章
低80~100°C50kPa
300kPa±1%联邦安全局2~100%F.S.10SCCM25SLMAU
高100~120°C
50kPa
300kPa±1%联邦安全局2~100%F.S.10SCCM25SLMAU

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