LINTEC琳得科 OZ-1 质量流量控制器

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LINTEC琳得科 OZ-1 质量流量控制器

LINTEC琳得科 OZ-1 质量流量控制器

LINTEC琳得科 OZ-1 质量流量控制器LINTEC琳得科 OZ-1 质量流量控制器质量流量控制器，臭氧气体运行一年保修。一款专用臭氧气体质量流量控制器，利用林泰克独特的环境温度补偿传感器实现高度热解臭氧气体的流量控制。即使臭氧气体流量被长期控制，臭氧气体浓度也不…

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LINTEC琳得科    OZ-1  质量流量控制器

LINTEC琳得科    OZ-1  质量流量控制器

质量流量控制器，臭氧气体运行一年保修。

一款专用臭氧气体质量流量控制器，利用林泰克独特的环境温度补偿传感器实现高度热解臭氧气体的流量控制。

即使臭氧气体流量被长期控制，臭氧气体浓度也不会改变。 （根据我们的研究）

  • 可控制臭氧气体流量

  • 精度±1% S.P.（校准气体）

  • 干净（保证粒子）

  • 环境温度补偿传感器

  • EtherCAT通信，DeviceNet通信

  • 低压差

  • 宽域

由于臭氧具有高度腐蚀性且无法通过MFC控制，臭氧发生器数量=臭氧气体需求所在位置。 臭氧气体质量流量控制器，可在流量测量过程中减少热解。如果通过OZ-1控制流量，就可以用一个臭氧发生器向多个臭氧需求点供应臭氧气体

温度最小差压最大压差精度控制范围闵F.S.马克斯·F.S.
5~50°C50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.10SCCM50SLM


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