LINTEC琳得科 HX-0301L 蒸发器恒温器

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LINTEC琳得科 HX-0301L 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 HX-0301L 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 HX-0301L 蒸发器恒温器LINTEC琳得科 HX-0301L 蒸发器恒温器一种能够加热250 SLM的N2，相当于最大300C的高温燃气加热器，设计紧凑。特色紧凑型设计，高度240毫米宽度101毫米宽度75毫米。最大流量：250SLM最高工作温度300C两台并联机组可承受300C、500C的…

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LINTEC琳得科  HX-0301L  蒸发器恒温器

LINTEC琳得科  HX-0301L  蒸发器恒温器

一种能够加热250 SLM的N2，相当于最大300°C的高温燃气加热器，设计紧凑。

特色

紧凑型设计，高度240毫米×宽度101毫米×宽度75毫米。

最大流量：250SLM

最高工作温度300°C

两台并联机组可承受300°C、500°C的SLM设计时保持设定温度与出口燃气温度差较小

晶圆在沉

积时可能会发生变形。 其中一种对策是在高温大流量下用热空气纠正翘曲。 高温燃气加热器（HX-0301）可通过两台并联产生300°C的高温高流量和500SLM，非常适合纠正变形。

流量（N2换算）压降（N2）耐受压力（G）服务温度气体接触部件材料
规格250SLM94kPa1MPa300°CSUS316L