LINTEC琳得科 VU-0440N 蒸发器恒温器

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LINTEC琳得科 VU-0440N 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 VU-0440N 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 VU-0440N 蒸发器恒温器LINTEC琳得科 VU-0440N 蒸发器恒温器这是采用高效双流体喷嘴蒸汽结构、扩大蒸发室并改进汽化出口以减少未汽化排放的最新型号。通过增加汽化室体积，相较于VU-450，可以改善对流时间和热交换面积。 实现高流量蒸发。通过增加气体…

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LINTEC琳得科   VU-0440N  蒸发器恒温器

LINTEC琳得科   VU-0440N  蒸发器恒温器

这是采用高效双流体喷嘴蒸汽结构、扩大蒸发室并改进汽化出口以减少未汽化排放的最新型号。

通过增加汽化室体积，相较于VU-450，可以改善对流时间和热交换面积。 实现高流量蒸发。

通过增加气体出口的距离，可以抑制雾气（未汽化）排放。

非常适合低k、高k及各种金属，用于低压、高流量的汽化供应。

由于它是带有集成阀门的蒸发器，可以与LM-3000L结合使用，以控制靠近蒸发器的液体流量。 响应式汽化流量控制是可能的。

  • 高效汽化

  • 可维护性

  • 阀门邻近性

  • 延长出口加热距离

使用场景

半导体材料汽化 CVD，ALD

通过扩大汽化室，中央双流体喷嘴喷出的雾气比VU-450喷雾更为扩散。 通过增加加热器W，TEOS可以稳定汽化出30克/分钟的大流量，H2O为5克/分钟。

最高温度载气流量水汽化量TEOS汽化体积密封材料
200°C0.8~130SLM5克/分钟30克/分钟AU
卡莱茨

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