LINTEC琳得科 VU-3100N 蒸发器恒温器LINTEC琳得科 VU-3100N 蒸发器恒温器一个带有压电执行器的小型非载体蒸发器。压电执行器控制阀,能够在汽化室附近进行微流量控制和快速响应控制。流量控制的液体被扩散到网状过滤器中,并在汽化室中加热,以实现即使在小流量下也能…
LINTEC琳得科 VU-3100N 蒸发器恒温器
一个带有压电执行器的小型非载体蒸发器。
压电执行器控制阀,能够在汽化室附近进行微流量控制和快速响应控制。
流量控制的液体被扩散到网状过滤器中,并在汽化室中加热,以实现即使在小流量下也能保持稳定的汽化。
非载体汽化
微流汽化
阀门邻近性
节省空间
可维护性
基于高温MFC的非载流子汽化存在较小的缺点。VU-3100是LINTEC独特的非携带结构,尽管体积小,仍能提供非载流子蒸发,TEOS为5 g/min(538 SCCM)。