LINTEC琳得科 SVC 蒸发器恒温器

产品目录

LINTEC琳得科 SVC 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 SVC 蒸发器恒温器

LINTEC琳得科 SVC 蒸发器恒温器LINTEC琳得科 SVC 蒸发器恒温器SVC系列是一种通过高温质量流量控制器加热内置罐体并控制汽化气体流动的装置，以供应液态气体。 作为流体测量与控制设备制造商，我们通过设计考虑液体物理特性的设备实现稳定的流体供应。特色优化整条供…

产品详情

Product Detail

LINTEC琳得科   SVC  蒸发器恒温器

LINTEC琳得科   SVC  蒸发器恒温器

SVC系列是一种通过高温质量流量控制器加热内置罐体并控制汽化气体流动的装置，以供应液态气体。

 作为流体测量与控制设备制造商，我们通过设计考虑液体物理特性的设备实现稳定的流体供应。

特色

  • 优化整条供水管线的温度可以防止液化，并稳定地供应汽化气体。

  • 一体化设计，只需连接多个公用设施即可轻松供应烘焙。

  • 根据液体的物理特性、供应量和使用环境，它可以根据不同规格进行使用。

  • 干净的施工以保证可维护性。

  • 配备多种报警设置功能以保障安全。

用途

SVC系列用于汽化生产设施所需的液态材料，如用于沉积碳薄膜如DLC的C7H8、光纤制造必需材料SiCl4，以及用于光刻剥离（半导体制造工艺）灰化的H2O。 

烘烤单元基本上是一种设备，MFC的次级部分需要在真空（减压）下使用。


工作温度/相对湿度0~40°C/80% 或更低
使用条件连续运行
供电电压单相交流100V 50/60Hz
绝缘电阻500伏兆伏电压下超过10MΩ
温度调节器MFC/水箱/管道线
路三点独立控制
气动阀操作流量面板开关
公用事业阀门驱动空气0.5~0.6MPa
清除N20.05~0.3MPa
电源100/200VAC
管道/外壳箱内排气φ50阻尼器
管道BA管道
液位计浮子类型
水箱

500CC/1L/2L/5L