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HORIBA堀场 D700uF 质量流量控制器
HORIBA堀场 D700uF 质量流量控制器 HORIBA堀场 D700uF 质量流量控制器CRITERION™系列D700uF设计用于5 SCCM或更低的流量应用。 半导体制造中低流量范围的流量控制对于高纵横比结构的微制造工艺至关重要。 京都福渊山技术中心开发的专门小流量测量组件以及新开发的流量…
产品详情
Product Detail
HORIBA堀场 D700uF 质量流量控制器
HORIBA堀场 D700uF 质量流量控制器
CRITERION™系列D700uF设计用于5 SCCM或更低的流量应用。 半导体制造中低流量范围的流量控制对于高纵横比结构的微制造工艺至关重要。
京都福渊山技术中心开发的专门小流量测量组件以及新开发的流量参考装置，确保了符合国家标准的可追溯性，使得能够高精度测量和控制低至0.025 SCCM的小流量。
流量控制可至0.025 SCCM对低流量气体如
调谐气体进行精确控制。响应速度快，少于100毫秒，减少MFC间的机器差异，高生产率并提升工艺性能。
内部流量测量 所有
生产的产品都高度可靠。状态监控功能提供了
更多内部数据，并允许更智能的故障预测。PFA阀门的截止和耐腐蚀性能优越，减少
停机时间并优化良率。
