HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器

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HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器

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HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器HORIBA堀场 D700T 质量流量控制器CRITERION™ 系列 D700T 是一款高性能质量流模块，专为关键半导体制造工艺设计。 它采用基于压力的流量测量与控制技术，提供行业领先的重复性和精准的性能。 此外，它配备了一种巧妙的专利先进流量控…

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HORIBA堀场  D700T  质量流量控制器

HORIBA堀场  D700T  质量流量控制器

CRITERION™ 系列 D700T 是一款高性能质量流模块，专为关键半导体制造工艺设计。 它采用基于压力的流量测量与控制技术，提供行业领先的重复性和精准的性能。 此外，它配备了一种巧妙的专利先进流量控制算法双阀结构，能够解决气体输送系统面临的多种问题。

  • 在整个流量范围（上升、下降、设定点到设定点）响应速度低于100毫秒

  • 自我诊断多重诊断功能（专利）

  • 改进的压力不敏感

  • 高流量精度（±0.8%S.P.）以及可重复性（±0.15%S.P.）

  • 覆盖广泛的环境温度范围（15-60°C）

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