HORIBA堀场 D700WR 质量流量控制器

产品目录

HORIBA堀场 D700WR 质量流量控制器

HORIBA堀场 D700WR 质量流量控制器

HORIBA堀场 D727MG 质量流量控制器HORIBA堀场 D727MG 质量流量控制器半导体制造中的气体控制是决定工艺结果的关键因素之一。 近年来，随着微型化和三维结构等先进半导体器件的发展，对气体控制性能改进的需求日益增长，以提升生产率和良率。 堀叶ESTECH开发了CRITERION™…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场  D700WR 质量流量控制器

HORIBA堀场  D700WR 质量流量控制器

CRITERION™系列D700WR安装了专为多种控制应用设计的新型限流器，基于CRITERION™技术实现高精度性能。 CRITERION™系列D700WR能够控制流量，控制流量可达全尺寸范围的0.1%，帮助用户优化气体输送系统的灵活性。 例如，如果安装多个MFC以控制大流量和小流量，用户可以减少MFC数量，并在相同位置使用另一个MFC以实现不同目的。

  • 0.1~100%的宽范围控制和低流量
    时的高精度，提供工艺优化和灵活性。
     

  • 响应速度少于500毫秒，带来
    高生产力和改进工艺性能。
     

  • 坚固的CIP压力传感器零故障，减少大规模生产的
    停机时间和工时。
     

  • PFA喷嘴的阀门关闭和摩擦阻力超过10倍，减少
    停机时间并优化良率。
     

  • 状态监控功能提供了
    更多内部数据，并允许更智能的故障预测。

image.png