HORIBA堀场 DZ-100 质量流量控制器

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HORIBA堀场 DZ-100 质量流量控制器

HORIBA堀场 DZ-100 质量流量控制器

HORIBA堀场 D727MG 质量流量控制器HORIBA堀场 D727MG 质量流量控制器半导体制造中的气体控制是决定工艺结果的关键因素之一。 近年来，随着微型化和三维结构等先进半导体器件的发展，对气体控制性能改进的需求日益增长，以提升生产率和良率。 堀叶ESTECH开发了CRITERION™…

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HORIBA堀场  DZ-100 质量流量控制器

HORIBA堀场  DZ-100 质量流量控制器

一款宽10毫米的高性能质量流模块，适用于采用压差检测方法的先进工艺。 ±实现0.5%的超时精度和不到0.4秒的响应时间。

新的CRITERION™系列DZ-107（EtherCAT®通信型号）保持10毫米宽度，同时最大化全尺寸流量（20SLM），并提供内部气体数据的灵活操作性。

  • 快速响应
    时间：0.4秒内

  • 轻便紧凑型 10毫米
    宽，99毫米高（DZ-114S）

  • 实现高精度
    ±0.5% S.P.

  • 集成支持


  • DeviceNet™ 通信模型。EtherCAT
    ® 通信模型。

  • 扩展一次供水压力范围
    110~900kPa（DZ-114S）

  • 多气体、多范围和多压力功能 用户端可以

    更改“气体类型”、“全量流量”和“供气压力范围”。 它有助于降低成本，比如减少备件的使用。

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