HORIBA堀场 DZ-117MG 质量流量控制器

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HORIBA堀场 DZ-117MG 质量流量控制器

HORIBA堀场 DZ-117MG 质量流量控制器

HORIBA堀场 DZ-117MG 质量流量控制器HORIBA堀场 DZ-117MG 质量流量控制器一款宽10毫米的高性能质量流模块，适用于采用压差检测方法的先进工艺。 实现0.5%的超时精度和不到0.4秒的响应时间。新的CRITERION™系列DZ-107（EtherCAT通信型号）保持10毫米宽度，同时最大化全…

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HORIBA堀场  DZ-117MG 质量流量控制器

HORIBA堀场  DZ-117MG 质量流量控制器

一款宽10毫米的高性能质量流模块，适用于采用压差检测方法的先进工艺。 ±实现0.5%的超时精度和不到0.4秒的响应时间。

新的CRITERION™系列DZ-107（EtherCAT®通信型号）保持10毫米宽度，同时最大化全尺寸流量（20SLM），并提供内部气体数据的灵活操作性。

  • 快速响应
    时间：0.4秒内

  • 轻便紧凑型 10毫米
    宽，99毫米高（DZ-114S）

  • 实现高精度
    ±0.5% S.P.

  • 集成支持


  • DeviceNet™ 通信模型。EtherCAT
    ® 通信模型。

  • 扩展一次供水压力范围
    110~900kPa（DZ-114S）

  • 多气体、多范围和多压力功能 用户端可以

    更改“气体类型”、“全量流量”和“供气压力范围”。 它有助于降低成本，比如减少备件的使用。

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