HORIBA堀场 SEC-Z724SMG 质量流量控制器

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HORIBA堀场 SEC-Z724SMG 质量流量控制器

HORIBA堀场 SEC-Z724SMG 质量流量控制器

HORIBA堀场 SEC-Z724SMG 质量流量控制器HORIBA堀场 SEC-Z724SMG 质量流量控制器在多图案化日益先进的半导体工艺中，质量流模块的性能对半导体制造设备的性能有显著影响。 SEC-Z700S系列具备流动精度、重复性、响应性和无颗粒性等关键特性，满足原子级蚀刻和沉积工艺的…

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HORIBA堀场  SEC-Z724SMG  质量流量控制器

HORIBA堀场  SEC-Z724SMG  质量流量控制器

在多图案化日益先进的半导体工艺中，质量流模块的性能对半导体制造设备的性能有显著影响。 SEC-Z700S系列具备流动精度、重复性、响应性和无颗粒性等关键特性，满足原子级蚀刻和沉积工艺的多种需求。

  • 流量精度
    ±1%压力保证（将流量设置为5至100% F.S.（ N2））

  • 宽域控制
    低流量范围可控制至0.5% F.S.

  • 阀门关闭性能
    氟聚合物（PFA）（箱号#01至#04）
    全闭时流量不超过0.1% F.S.

  • 可调响应功能
    可调范围 0.3秒或更长 1秒或更短

  • 工作温度
    ：可用温度15至60°C

  • 降低性能变异
    性：重复性在0.15%的S.P.±设定流量5至100%F.S.。
    流量响应时间：450±30毫秒

  • 零点稳定性
    ±0.3% F.S./年

  • MRMG编号（Bin#）10SCCM
    至50SLM FS，提供9种规格

 

应用

  • 原子层沉积（ALD）/原子层蚀刻（ALE）

  • 粒子敏感外延工艺

  • 卤素气体应用