HORIBA堀场 SEC-Z512KX 质量流量控制器

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HORIBA堀场 SEC-Z512KX 质量流量控制器

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HORIBA堀场 SEC-Z512KX 质量流量控制器HORIBA堀场 SEC-Z512KX 质量流量控制器这款最畅销的数字质量流量控制器型号，配备了多段/多气体功能，允许用户在用户端切换气体类型和流量范围。其高精度为1.0% S.P.，响应速度在全程1秒内，范围从5SCCM到500SLM都很宽。 通信方…

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HORIBA堀场  SEC-Z512KX  质量流量控制器

HORIBA堀场  SEC-Z512KX  质量流量控制器

这款最畅销的数字质量流量控制器型号，配备了多段/多气体功能，允许用户在用户端切换气体类型和流量范围。
其高精度为±1.0% S.P.，响应速度在全程1秒内，范围从5SCCM到500SLM都很宽。 通信方式可选择数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT®通信。 它是先进工艺以及各种制造工艺的理想质量流量控制器。

  • 多范围/多气体支持：气体类型和全量流量可由
    用户调整。 它有助于降低成本，比如减少备件的使用。

  • 范围宽
    ：小流量（5SCCM F.S）到高流量（500SLM F.S.）可控至以下

  • 高精度
    ±1.0% S.P.（设定点）保证

  • 快速响应
    1秒内全范围（T98）

  • 紧凑尺寸
    的面对面距离106毫米（50SLM或以下，1/4VCR类型），兼容1.125英寸燃气面板。

  • 超洁兼容接触气体部分采用
    全不锈钢结构，内部表面抛光处理为标准。

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