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HORIBA堀场 FS-3000 质量流量控制器
HORIBA堀场 FS-3000 质量流量控制器HORIBA堀场 FS-3000 质量流量控制器这是一种流分器，用于将半导体、显示器、太阳能电池等制造过程中引入的工艺气体以任意比例分配。提升可扩展性和可维护性 它由主控器和质量流量控制器组成，最多可扩展至15个分支。质量流量控制器可以…
产品详情
Product Detail
HORIBA堀场 FS-3000 质量流量控制器
HORIBA堀场 FS-3000 质量流量控制器
这是一种流分器，用于将半导体、显示器、太阳能电池等制造过程中引入的工艺气体以任意比例分配。
提升可扩展性和可维护性 它由
主控器和质量流量控制器组成，最多可扩展至15个分支。
质量流量控制器可以单独更换，便于维护、更改规格和维修。
宽流量范围质量流量控制器的组合
可实现宽广的流量范围，从低压差到高流量。
通过平面均匀性提升晶圆质量 通过用流分器分离同浓度气体
，可以提升晶圆的面内均匀性，从而促进质量提升。
