HORIBA堀场 SEC-Z542MGX 质量流量控制器HORIBA堀场 SEC-Z542MGX 质量流量控制器畅销数字质量流量计。所有用于尖端工艺的功能都集成于这台设备中,包括多范围/多气体功能,允许你自行更换气体类型和全尺寸流量, 1.0 S.P.的高精度,配备压电阀,响应迅速,全金属支撑。多档…
HORIBA堀场 SEC-Z542MGX 质量流量控制器
HORIBA堀场 SEC-Z542MGX 质量流量控制器
畅销数字质量流量计。
所有用于尖端工艺的功能都集成于这台设备中,包括多范围/多气体功能,允许你自行更换气体类型和全尺寸流量,± 1.0 S.P.的高精度,配备压电阀,响应迅速,全金属支撑。
多档/多气体支持
:客户可以自行更改质量流量控制器的规格。
从小流量(5SCCM F.S)到高流量(200SLM FS)的完整阵容完整阵容
高精度
±1.0%设定点保证。
快速响应
,1秒内全范围(T98)配备可变PID。
紧凑尺寸
的面对面距离106毫米(50SLM或以下,1/4VCR类型),兼容1.125英寸燃气面板。
超洁兼容接触气体部分采用
全不锈钢结构,内部表面抛光处理为标准。
