HORIBA堀场 MV-2000 液态材料汽化系统

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HORIBA堀场 MV-2000 液态材料汽化系统HORIBA堀场 MV-2000 液态材料汽化系统它是一种汽化系统，能够汽化（气化）纯水和液体物质。 利用龙卷风流法实现低温下稳定汽化的高效汽化。 该模型非常适合用于半导体工艺的液体材料（如高介性介音材料）的稳定汽化系统。 安装用于载…

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HORIBA堀场 MV-2000 液态材料汽化系统

HORIBA堀场 MV-2000 液态材料汽化系统

它是一种汽化系统，能够汽化（气化）纯水和液体物质。 利用龙卷风流法实现低温下稳定汽化的高效汽化。

 该模型非常适合用于半导体工艺的液体材料（如高介性介音材料）的稳定汽化系统。 

安装用于载气控制的质量流量控制器和用于液体材料流量测量的质量流量计，完成了一个高效的汽化系统。

  • 利用龙卷风流法实现稳定汽化 高效
    汽化法实现低温下稳定汽化。
    即使在易于热解的液态材料中，也能提升汽化性能。

  • 使用龙卷风流法实现高流量汽化 高效
    汽化法能够在与传统产品相同的温度条件下实现高流量汽化。 同一占地面积
    内的高流量无需重新调整布局。

  • 可以设计紧凑型汽化系统以实现理想的布局

  • 符合RoHS

模型MV-2000
兼容的液体类型不包括腐蚀不锈钢的液体，如盐酸、氢氟酸等。
设定温度根据蒸发条件（控制阀：最大140°C 蒸发器：最大200°C）
泄漏标准1× 10-8 Pa·m3/s（He）或更低
内部泄漏标准1× 10-6 Pa·m³/s（He）或更低
气体接触部件材料SUS316L，PFA
工作温度传感器热电偶K型（CA）
耐压1MPa（G）
标准配件液体进气口：1/8 VCR 类型公头，载气入口：1/4 VCR 类型母头，燃气出口：1/2 VCR 公头
可用环境温度15 ~ 50°C
选项气动阀（内部泄漏标准：1× 10-9 Pa·m³/s（氦）或更低）