HORIBA堀场 LSC 液态材料汽化系统

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HORIBA堀场 LSC 液态材料汽化系统

HORIBA堀场 LSC 液态材料汽化系统

HORIBA堀场 LSC 液态材料汽化系统HORIBA堀场 LSC 液态材料汽化系统该系统使各种液体物质（包括纯水）气化，并以任意流量控制和供应。从低流量到大流量均可实现稳定汽化。即使发生汽化，液态物质仍供应至汽化罐，实现长时间连续产生。它实现了从低流量到大流量的稳定液体…

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HORIBA堀场 LSC  液态材料汽化系统

HORIBA堀场 LSC  液态材料汽化系统

该系统使各种液体物质（包括纯水）气化，并以任意流量控制和供应。从低流量到大流量均可实现稳定汽化。即使发生汽化，液态物质仍供应至汽化罐，实现长时间连续产生。

  • 它实现了从低流量到大流量的稳定液体汽化。

  • 它配备了质量流量控制器，即使在高温气体中也能控制流量。

  • 即使发生汽化，也向汽化罐供应液态材料，可以实现长时间的连续发电。

  • 我们提出符合液体材料、汽化流量和生产条件的系统。我们还提供集成生产设备类型。欢迎随时联系我们。

 

产生流量H2O 2SLM、TEOS 600SCCM（最大）
工作压力最大：1.33kPa
源罐容量2.7L
温度控制方法通过恒温器控制PID。
液位检测方法浮子开关
内置
质量流量控制器		SEC-8400系列
气动阀门风箱型，隔膜型
湿润和气体部件材料SUS-316L，宾夕法尼亚号
工作环境温度20〜35°C
外部输入气动阀开闭
质量流量控制器流量设定信号（0-5VDC/0-100%F.S.）
紧急停止信号，自动零点信号（可选）
外部输出车身预热完成信号温度报警液位高频报警
液位信号（H、M、L）、质量
流量控制器流量输出信号（0-5伏直流/0-100%华氏度） 恒温室内部风扇停止报警阀
电压监测器（可选）
电源交流100伏单相50/60赫兹，1.5千伏安
其他自动充电系统：可连接LU系列。