HORIBA堀场 LE 液态材料汽化系统

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HORIBA堀场 LE 液态材料汽化系统

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HORIBA堀场 LE 液态材料汽化系统HORIBA堀场 LE 液态材料汽化系统这是一种高流量蒸发器，采用铝合金铸造流路管道和加热器，具有高汽化效率。‣ 结构采用铝合金制成，具有高汽化效率和良好导热性铸造不锈钢管道和加热器。‣ 抗堵塞和耐腐蚀 汽化器内部的湿润部分仅为不锈…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场  LE 液态材料汽化系统

HORIBA堀场  LE 液态材料汽化系统

这是一种高流量蒸发器，采用铝合金铸造流路管道和加热器，具有高汽化效率。

‣ 结构采用铝合金制成，具有高汽化效率和良好导热性铸造不锈钢管道和加热器。
‣ 抗堵塞和耐腐蚀 ·汽化器内部的湿润部分仅为不锈钢管材。
‣ 可使用高温 ・蒸发器的设定温度为室温+5°C~300°C（可全天使用）。
‣ 浓度稳定性：新开发的定量喷嘴稳定地将液体注入汽化器。

[主要规格]

■兼容型号
H2O/IPA/TEOS/SiCl4　他

■产生流量（气体流量）
H2O：10克/分钟（12.4SLM）
异丙醇：30克/分钟（11.1SLM）
TEOS：50克/分钟（5.3SLM）
硅化石L4 ：130克/分钟（17.1单调液）