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HORIBA堀场 GR-517F 压力控制设备
HORIBA堀场 GR-511F 压力控制设备HORIBA堀场 GR-511F 压力控制设备GR-500系列能够稳定且高精度地控制氦气和氩气等传热气体，这些对于晶圆背面的温度控制至关重要。 它配备了高速高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅能准确稳定地控制微压，还能实现流量测量。经过验证…
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Product Detail
HORIBA堀场 GR-517F 压力控制设备
HORIBA堀场 GR-517F 压力控制设备
GR-500系列能够稳定且高精度地控制氦气和氩气等传热气体，这些对于晶圆背面的温度控制至关重要。
它配备了高速高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅能准确稳定地控制微压，还能实现流量测量。
经过验证的电容式压力传感器可在低压下实现精确压力控制。
在压力控制期间对气体流量进行高度精确的监测。
