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HORIBA堀场 GR-312F 压力控制设备
HORIBA堀场 GR-312F 压力控制设备HORIBA堀场 GR-312F 压力控制设备GR-300系列能够稳定且高精度地控制热传递气体，如氦气和氩气，这些气体对于控制晶圆背面温度至关重要。 它配备了高速高分辨率的压电阀和质量流量传感器，不仅能准确稳定地控制压力差，还能实现流量测量…
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Product Detail
HORIBA堀场 GR-312F 压力控制设备
HORIBA堀场 GR-312F 压力控制设备
GR-300系列能够稳定且高精度地控制热传递气体，如氦气和氩气，这些气体对于控制晶圆背面温度至关重要。
它配备了高速高分辨率的压电阀和质量流量传感器，不仅能准确稳定地控制压力差，还能实现流量测量。
准确且稳定的供给
配备质量流量传感器 配备质量流量传感器，该传感器广泛应用于
质量流量控制器，可以以与物料气体输送过程相同的精度监测实际流量。与质量流量控制器尺寸相同，由于它支持与
质量流量控制器相同的尺寸和配件，因此设计和制造方式相似。符合RoHS
