HORIBA堀场 UR-Z714MO 压力控制设备

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HORIBA堀场 UR-Z714MO 压力控制设备

HORIBA堀场 UR-Z714MO 压力控制设备

HORIBA堀场 UR-Z714MO 压力控制设备HORIBA堀场 UR-Z714MO 压力控制设备这是一台配备数字控制电路的自动压力调节器，采用高精度压力传感器和高分辨率、响应快速的压电阀。 它可以通过多种外部信号远程操作，并自动调节压力。全金属接触部分用于接触气体，且其死容极低，…

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HORIBA堀场  UR-Z714MO 压力控制设备

HORIBA堀场  UR-Z714MO 压力控制设备

这是一台配备数字控制电路的自动压力调节器，采用高精度压力传感器和高分辨率、响应快速的压电阀。 

它可以通过多种外部信号远程操作，并自动调节压力。
全金属接触部分用于接触气体，且其死容极低，非常适合腐蚀性气体和低蒸气压力气体。


  • 即使在受瞬时波动影响的管线中，压力控制也保持稳定

  • 简化的燃气管道可显著减少死容

  • 液体材料起泡时容器内压力的任意设定

  • 支持数字/模拟、DeviceNet™和EtherCAT通信®

一次压力波动时的快速且准确压力调节 如果
一次压力突然波动，传统机械压力调节器的响应和压力调节特性可能会影响次级压力调节器（MFC）。 在微流量范围内，由于分辨率问题，它也可能引起类似狩猎现象。 高精度且响应快速的UR实现了精确且稳定的压力控制。

防止多管线压力干扰 当使用
大型设备如MOCVD、液晶溅射和CVD分离气体并用MFC控制时，突发流量变化可能影响其他管线。 同样，UR的快速精准压力调节确保每个MFC都能稳定控制，不会相互影响。

远程压力设定（大幅减少死容）
由于压力可以通过电信号控制，因此可以设计出气体管道，而这在传统压力调节器中较为困难。 简单管道的死容极少，气体无积聚，显著提升更换性能。 此外，压力表和调节旋钮从控制面板中被取消。

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