HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器

产品目录

HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器

HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器

HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器四极杆质谱仪微极系统是世界上最小的质谱仪之一。该传感器独特结构由九个四极磁板组成，用户可自行轻松更换，只需输入传感器相关参数即可校准。其工作环境比典型质谱仪更低真空（高压），…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器

HORIBA堀场 MPA8-1-300C 直联气体监测器

四极杆质谱仪

微极系统是世界上最小的质谱仪之一。该传感器独特结构由九个四极磁板组成，用户可自行轻松更换，只需输入传感器相关参数即可校准。其工作环境比典型质谱仪更低真空（高压），无需额外设备。非常适合管理真空室条件和监测过程。

该系列是行业中最小的一级，仅为其他公司的十分之一
，传感器部件尺寸仅为5厘米。非常适合设备集成。
独特的结构传感器 配备9个四极节，共
16根电极棒，尽管体积最小，却实现了高灵敏度。
低真空（高压）操作 测量功率可达0.5 Pa
（适用于2-65 m/z传感器）无需额外的差动排气系统。
用户可更换的传感器校准滤波器可在现场轻松更换，无需拆解
仪器。
通信安装专用软件后，单台
电脑可通过RS-485通信连接最多8个设备。它还配备了适合设备集成的模拟输入和输出。
专用软件 为QL-SG02开发
的用户友好型Micropole ScannerTM 2软件允许您控制QL-SG02，并获取、可视化和分析数据。

测量原则

四极质谱仪的传感器由离子源、质量滤波段和离子探测段组成。丝状电子与气体分子碰撞，电离气体，并加速向滤波段。在滤波器段，施加叠加直流和交流分量的电压，并根据这些值确定能通过四极棒形成电场的离子的质量与电荷比。通过的离子到达检测段，作为电流信号测量，并通过扫描电压获得质量谱。

微极TM 分析仪

安装在MICROPOLE分析仪中的传感器（MPA）最显著的特点是采用高精度玻璃处理技术集成的九种四极形状结构。与典型的四极杆传感器相比，它保持了灵敏度，同时实现了世界上最小的尺寸。校准后的传感器可以轻松地入式替换。

腔体状况监测仪

四极杆质谱仪在真空腔体中残余气体分析方面有着良好的记录。尤其是在金属溅射过程中，减少沉积膜中残留的氧气和水分气体非常重要，一旦腔室释放到大气中，还需要时间来减少这些气体。四极质谱仪在监测腔体状况方面非常有用。

等离子体过程监测器

实时观察等离子体过程状态的一种方法是使用四极质谱仪。在透明电极的溅射沉积过程中，控制沉积中的氧气对于控制薄膜的透明度和导电性至关重要，并且可以观察到等离子体蚀刻过程中的动态变化。