HORIBA堀场 QL-SG02-300-1A 直联气体监测器

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HORIBA堀场 QL-SG02-300-1A 直联气体监测器HORIBA堀场 QL-SG02-300-1A 直联气体监测器四极杆质谱仪微极系统是世界上最小的质谱仪之一。该传感器独特结构由九个四极磁板组成，用户可自行轻松更换，只需输入传感器相关参数即可校准。其工作环境比典型质谱仪更低真空（高…

HORIBA堀场 QL-SG02-300-1A 直联气体监测器

四极杆质谱仪

微极系统是世界上最小的质谱仪之一。该传感器独特结构由九个四极磁板组成，用户可自行轻松更换，只需输入传感器相关参数即可校准。其工作环境比典型质谱仪更低真空（高压），无需额外设备。非常适合管理真空室条件和监测过程。

四极质谱仪的传感器由离子源、质量滤波段和离子探测段组成。丝状电子与气体分子碰撞，电离气体，并加速向滤波段。在滤波器段，施加叠加直流和交流分量的电压，并根据这些值确定能通过四极棒形成电场的离子的质量与电荷比。通过的离子到达检测段，作为电流信号测量，并通过扫描电压获得质量谱。

安装在MICROPOLE分析仪中的传感器（MPA）最显著的特点是采用高精度玻璃处理技术集成的九种四极形状结构。与典型的四极杆传感器相比，它保持了灵敏度，同时实现了世界上最小的尺寸。校准后的传感器可以轻松地入式替换。

四极杆质谱仪在真空腔体中残余气体分析方面有着良好的记录。尤其是在金属溅射过程中，减少沉积膜中残留的氧气和水分气体非常重要，一旦腔室释放到大气中，还需要时间来减少这些气体。四极质谱仪在监测腔体状况方面非常有用。

实时观察等离子体过程状态的一种方法是使用四极质谱仪。在透明电极的溅射沉积过程中，控制沉积中的氧气对于控制薄膜的透明度和导电性至关重要，并且可以观察到等离子体蚀刻过程中的动态变化。