HORIBA堀场 IR-422 直联气体监测器

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HORIBA堀场 IR-422 直联气体监测器

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HORIBA堀场 IR-422 直联气体监测器HORIBA堀场 IR-422 直联气体监测器随着微加工技术的发展，半导体制造中的沉积工艺对于通过保持工艺后腔室清洁来提高生产率至关重要。 IR-400系列是一款用于沉积过程的腔室清洁端检测监测器，实时监测废气成分（SiF4、CF4）。 它通过…

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HORIBA堀场  IR-422  直联气体监测器

HORIBA堀场  IR-422  直联气体监测器

随着微加工技术的发展，半导体制造中的沉积工艺对于通过保持工艺后腔室清洁来提高生产率至关重要。 

IR-400系列是一款用于沉积过程的腔室清洁端检测监测器，实时监测废气成分（SiF4、CF4）。 

它通过优化干洗终端检测、减少清洁气体使用和时间，以及减少腔体损伤，有助于延长零件的使用寿命。

  • 同时进行双分量监测

  • 高灵敏度

  • 燃气电池加热功能

  • 模拟/数字通信

  • 多显示器

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