HORIBA堀场 IR-315M 直联气体监测器

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HORIBA堀场 IR-315M 直联气体监测器

HORIBA堀场 IR-315M 直联气体监测器

HORIBA堀场 IR-315M 直联气体监测器HORIBA堀场 IR-315M 直联气体监测器在线气体浓度监测器，用于监测气泡供应管线。 为了稳定供应物质气体。有机金属气相沉积法（MOCVD）广泛应用于LED制造工艺和光学器件制造工艺中。 该MOCVD装置采用液态/固体材料，通常通过气泡方式…

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HORIBA堀场  IR-315M  直联气体监测器

HORIBA堀场  IR-315M  直联气体监测器

在线气体浓度监测器，用于监测气泡供应管线。 为了稳定供应物质气体。

有机金属气相沉积法（MOCVD）广泛应用于LED制造工艺和光学器件制造工艺中。 

该MOCVD装置采用液态/固体材料，通常通过气泡方式以汽化气体的形式供应到腔室。

 在该物料气体供应管线中，实时气体浓度监测对于实现稳定沉积过程至关重要。

 IR-300系列气体浓度监测器被引入MOCVD设备的物料气体供应管线，实现高速气体浓度的在线监测。 它支持稳定的物质气体供应。


  • 实时监测：响应速度和对气体
    浓度变化的重复性。

  • 多重校准曲线函数（可选）
    最多可安装3种气体/全标度浓度（= 校准曲线）的测量方式

  • 多显示功能为现场检查
    集中监测和供电线信息，配备了多显示器，主机顶部多显示器和模式LED灯结合。

  • 通信功能
    支持 DeviceNet 通信及数字/模拟信号通信方法

  • 紧凑且简洁设计
    两侧尺寸 124毫米 紧凑设计，安装位置无限制。

IR-300采用高亮度、长寿命的光源和更快的电信号处理，以提高响应速度和重复性。 （公司规模是之前的两倍多）这支持了持续的在线监测，跟踪气体浓度变化。
*为了稳定监测，建议在测量前进行零校准（每天超过一次）。

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