HORIBA堀场 VG-221S 真空计

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HORIBA堀场 VG-221S 真空计

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HORIBA堀场 VG-221S 真空计HORIBA堀场 VG-221S 真空计工艺中压力测量是许多行业的重要技术，包括半导体、平板显示器、光伏板、硬盘和涂层。 电容压力计利用与对电极的电容，测量隔膜两侧（称为隔膜）之间因压力差引起的位移量，并将其转换为压力。 与其他压力测量方法相…

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HORIBA堀场  VG-221S 真空计

HORIBA堀场  VG-221S 真空计

工艺中压力测量是许多行业的重要技术，包括半导体、平板显示器、光伏板、硬盘和涂层。 

电容压力计利用与对电极的电容，测量隔膜两侧（称为隔膜）之间因压力差引起的位移量，并将其转换为压力。 与其他压力测量方法相比，电容压力计具有以下特性：

  • 绝对压力测量

  • 高精度且稳定性优异

  • 测量方式与气体类型无关

  • 自温控制型及最小级别 *VG-200S系列

  • 独特的电极结构实现了高精度和稳定性

  • SUS316L用于气体接触部分，包括隔膜

  • 可选为非加热、55°C温控和100°C温控 *VG-200S 系列

  • 材料与工艺的最佳温度设置 *VG-500S 系列

  • 一推再零

  • 电源±15伏直流，24伏直流

  • CE，RoHS合规

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