HORIBA堀场 EV-140C 等离子监测仪

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HORIBA堀场 EV-140C 等离子监测仪

HORIBA堀场 EV-140C 等离子监测仪

HORIBA堀场 EV-140C 等离子监测仪HORIBA堀场 EV-140C 等离子监测仪这是一种基于发光光谱的终端监测器，用于等离子体半导体薄膜工艺中的终端检测或等离子体状态管理。 新开发的算法“破裂强度”能够准确检测弱信号变化的端点。极大提升了感光度，捕捉亮度的细微变化。此…

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HORIBA堀场  EV-140C 等离子监测仪

HORIBA堀场  EV-140C 等离子监测仪

这是一种基于发光光谱的终端监测器，用于等离子体半导体薄膜工艺中的终端检测或等离子体状态管理。 新开发
的算法“破裂强度”能够准确检测弱信号变化的端点。
极大提升了感光度，捕捉亮度的细微变化。
此外，通过提升抗噪能力，它确保了在24小时运行的生产线恶劣环境中的高稳定性运行。

  • 光栅亮度，光圈比为F/2
     

  • 2048Ch 高灵敏度高分辨率背侧入射CCD线传感器
     

  • 用于高级过程控制的Sigma-P软件

一般规格


测量光学输入光纤输入
传感器单元尺寸137（西）×156（H）×257（D）毫米
传感器质量4.0公斤
连接房间数量1ch
电源规格DC24V±10%
功耗12VA
工作环境温度15-35°C
储存环境温度0-50°C（非冷凝）
运行/储存湿度<80%RH@25°C（非冷凝）
液晶显示执行状态/传感器错误/控制器错误
冷却风扇DC粉丝