HORIBA堀场 CS-1000 液体浓度监测仪

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HORIBA堀场 CS-1000 液体浓度监测仪HORIBA堀场 CS-1000 液体浓度监测仪BEOL工艺※1有助于控制含有微量成分的多组分化学溶液的浓度控制，这些溶液用于化学溶液中的PPM水平※2它可以检测到无需预处理的微量成分。只需将一体化系统安装在车间的独立柜子中即可※3。*1 后端…

HORIBA堀场 CS-1000 液体浓度监测仪

化学溶液中的PPM水平※2它可以检测到无需预处理的微量成分。只需将一体化系统安装在车间的独立柜子中即可※3。

*1 后端线路的缩写，指的是半导体前工艺
的线路形成过程 *2 以1/1百万单位衡量的比率概念。对于液体组分，1 ppm意味着一公斤液体中含有1毫克的目标组分。
*3辆SEMI S2认证

除了提升吸收计的性能（扩大波长范围和提高分辨率）外，现在可以通过结合pH和电导率计的信号，检测ppm级别的微量成分。

设备内部固定了两条样品流路。通过完全分离流路，可以同时测量两种不同的化学溶液。

使用带有自动校准功能的pH计。维护仅需更换吸收仪灯具，更换内部液体瓶和pH计校准液。

产品名称	化学监测系统
模型	CS-1000
测量项目	化学浓度、电导率、pH值
测量原则	吸收光谱、双极电导率法、玻璃电极法
靶向化学溶液	半导体制造工艺中使用的多组分化学解决方案（详情请联系我们）
尺寸	700（西）×610（D）×1640（H）毫米（不包括突出物）
质量	约200公斤
湿润材料	柜体（PFA，PTFE）吸收仪（PFA，PTFE，石英，Kalrez™）电导率计（PFA，碳，Kalrez™）， pH计——带排水口（PVC，PTFE，玻璃，ETFE，PEEK，烯烃树脂，THV，PFA， Kalrez，PharMed™ BPT）* Karlez™ 是杜邦德内穆尔公司（DuPont de Nemours， Inc.）的商标。
认证标准	CE，KC，FCC 规则第15部分，UKCA，SEMI S2

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