HORIBA堀场 CS-620F 液体浓度监测仪

产品目录

HORIBA堀场 CS-620F 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 CS-620F 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 CS-620F 液体浓度监测仪HORIBA堀场 CS-620F 液体浓度监测仪该磷酸盐浓度监测仪实现了高温磷酸的实时测量，无需冷却。半导体制造工艺，主要是三维NAND闪存的SiN层※1它非常适合控制蚀刻过程中磷酸的浓度。*1 SiN层：硅晶圆上形成的硅和氮化合物薄膜。高浓度高…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场  CS-620F 液体浓度监测仪

HORIBA堀场  CS-620F 液体浓度监测仪

该磷酸盐浓度监测仪实现了高温磷酸的实时测量，无需冷却。

半导体制造工艺，主要是三维NAND闪存的SiN层※1它非常适合控制蚀刻过程中磷酸的浓度。
*1 SiN层：硅晶圆上形成的硅和氮化合物薄膜。

高浓度高温

循环管线中高浓度（高达92%）和高温磷酸（140-170°C）可以直接测量，无需冷却，无需冷却机制和冷却时间。

低污染风险

样品连接中使用PFA可降低污染风险。

为了更快的反馈控制

实时测量每3秒更新一次测量数据，使得更快的集中反馈控制实现。

设备停机时间减少

采用半年一次背景校正周期，减少了设备停机时间。

产品名称化学浓度监测仪
模型CS-620F
测量原则吸收光谱学
浓度计算原理温度补偿多变量分析方法。
测量对象H3邮局4/H2O
测量范围与
重复性精度
成分名称测量范围（质量%）可重现性准确率（质量%）模拟输出范围（质量%）
第一化学溶液H3邮局485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
·可重复性准确性由平均值的最大误差（1小时）定义。
·在化学温度范围内（140-170°C），同一化学溶液的绝对指数差异可能高达+/-0.3%。
测量条件1）测量间隔：约3秒
2）移动平均线：16次
连接接头尺寸1英寸或3/4英寸
测量流体条件化学温度：140-170 °C
化学温度变化，环境温度变化±在1°C（1小时）以内 输入
压力：0.2MPa或以下
压力波动：0.02MPa或更低
流量：1-30升/分钟
仪表空气（行动，清除）接触：外径4毫米 快速联结
压力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
电源100-230 V 交流电（单相），50/60 Hz
功耗约85 VA（不含启动临时人员）
交通并行输入输出，RS-232C，模拟输出
尺寸（显示器本体） 200（W） X308（D） X78（H）mm（不含突出物）（
光源单元） 200（W） X262（D） X100（H）毫米（不含突出物）（
样本单元） 240（W） X209（D） X205（H）毫米（不含突出物）
质量（监测机体）约3.6公斤
（光源单元） 约2.8公斤
（样品单元） 约3.0公斤
安装温度（监测机体和光源单元通用）20-30°C
（光纤，样品单元）20-100°C
*室温无突变，± 1 °C / 1小时内
安装相对湿度40-70%（非凝结）
安装倾角（监测体和光源单元通用）± 在1°以内
（样品单元）安装为上流，避免气泡停滞。
光纤标准长度5米，最小弯曲半径150毫米