HORIBA堀场 CS-600F 液体浓度监测仪

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HORIBA堀场 CS-600F 液体浓度监测仪HORIBA堀场 CS-600F 液体浓度监测仪这是一种光纤化学浓度监测器，用于测量半导体制造过程中使用的化学溶液，如清洗和刻蚀。能够直接测量高温化学溶液，这对于最先进的湿法工艺至关重要。它实现了“快速、稳定且节省空间”，实现了高…

HORIBA堀场 CS-600F 液体浓度监测仪

这是一种光纤化学浓度监测器，用于测量半导体制造过程中使用的化学溶液，如清洗和刻蚀。

能够直接测量高温化学溶液，这对于最先进的湿法工艺至关重要。它实现了“快速、稳定且节省空间”，实现了高效且准确的化学品管理。

高温化学溶液的稳定测量。

优秀的光学系统和计算处理技术使得对高温化学溶液（20~80°C）的稳定且直接的测量实现，这些溶液往往会晃动。它也不需要在用户侧冷却化学溶液。

兼容最多6种化学溶液（化学溶液或范围）

一台显示器最多可测量6种化学品（化学液体或范围）。你可以自由指定想要测量的化学液体类型和测量范围，从而满足广泛的测量需求。

无布局

由于光源单元和监测器本体可以分别安装，因此可以根据化学品供应单元和清洁设备的安装空间自由排列它们。

设备停机时间减少

在线测量中背景校正频率较低，显著减少仪器停机时间，并显著提升吞吐量。

模型	CS-600F
测量原则	吸收光谱学
浓度计算原理	温度补偿多变量分析方法。
测量对象	新罕布什尔州3：0.00~1.20mass%，H2O2：0.00~5.50mass%， H2O：93.3~100.0mass%
可重复性准确性	新罕布什尔州3：±0.05质量%，H2O2：±10mass%，H2O：±1.0质量百分比，化学温度在±°C/1小时内
样品流体温度	20〜80°C
测量周期	大约3秒
屏幕显示（测量屏幕）	四线液晶显示・浓度测量值（%）、浓度报警状态（上上HH/上H/下L/下下LL）、 ·错误代码（EXXX）、化学温度（°C）、化学类型切换模式（P/S）、 ·背景修正失败次数（CXXX）
密钥操作	浓度报警值（上上HH/上H/下L/下下LL）、浓度测量偏移值、背景校正、热水校正、温度相关浓度偏移值校正
并行输入	带光耦合隔离的电压输入（12 - 30V DC） ·并联集中报警输出启用/禁用选择・化学类型切换信号输入（含背景校正） ·温度补偿输入
并行输出	带光耦合隔离的开集电极输出（与发射器共用）导通时最大电流：5mA 直流（无内部保护电阻）关闭时最大施加电压：30V 直流 ·集中报警（HH/H/L/LL报警开启）、器件异常（异常时关闭）、 ·测量时（开启）要测量的化学物质类型（化学类型信号输出）、 ·热水校正响应、警告（发生时开启）、背景校正状态、・热水校正状态
串行输入	RS-232C ·测量数据传输请求，测定化学品类型（含背景校正）， ·热水校正
串行输出	RS-232C - 化学浓度、测量数据编号、化学类型、错误代码、化学温度
模拟输出	输出电流4~20mA（但当仪器异常、测量停止及选择非活性化学品时，1.5mA固定）最大负载电阻500Ω
温度传感器输入	端子模块（端子螺丝M3），铂温度电阻：Pt100三线型（A类） *请自行准备温度传感器。
仪表空气	验收：4毫米外径快速接头，压力：0.2兆帕±0.02兆帕 *操作，清洗可同时用于使用和清洗。请为顾客做准备。
电源	100~230V 交流电（单相），50/60Hz
功耗	约85VA（不含启动瞬态电流）
尺寸	〈Monitor Body〉200（W）X308（D）X78（H）mm（不含突出物）〈Sample Cell〉145（W）X157（D）X137（H）mm（不含突出物）〈光源单元〉200（W）X262（D）X100（H）mm（不含突出物）
电源	交流100V到230V（单相）±10%，50/60Hz，约100VA
尺寸	205（西）×329（D）×269（H）毫米（不包括突出物）
质量	监测机体：约3.6公斤，样品单元：约1.2公斤，光源单元：约2.8公斤
安装温度	《监测体与光源单元》20~30°C，〈样品电池〉20~35°C，〈光纤〉20~35°C（室温无骤变，±1°C/1小时内）
安装相对湿度	〈监测机体和光源单元》40~70%（无冷凝）
安装倾角	〈监测体与光源单元》± 1°以内
光纤	标准长度5米，最小弯曲半径150毫米

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HORIBA堀场 CS-600F 液体浓度监测仪

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这是一种光纤化学浓度监测器，用于测量半导体制造过程中使用的化学溶液，如清洗和刻蚀。

高温化学溶液的稳定测量。

兼容最多6种化学溶液（化学溶液或范围）

无布局

设备停机时间减少