HORIBA堀场 HF-960EM 液体浓度监测仪

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HORIBA堀场 HF-960EM 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 HF-960EM 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 HF-960EM 液体浓度监测仪HORIBA堀场 HF-960EM 液体浓度监测仪它是一种符合半导体工艺洁净标准的氟酸浓度监测仪。湿润部分完全是PFA，尺寸被缩小到极限。 它还可用于高达50%高频浓度的广泛测量，满足半导体工艺的洁净要求。广泛支持范围提供低至高浓度（高达…

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HORIBA堀场  HF-960EM 液体浓度监测仪

HORIBA堀场  HF-960EM 液体浓度监测仪

它是一种符合半导体工艺洁净标准的氟酸浓度监测仪。

湿润部分完全是PFA，尺寸被缩小到极限。 它还可用于高达50%高频浓度的广泛测量，满足半导体工艺的洁净要求。

广泛支持范围

提供低至高浓度（高达50%HF）自动测距，以实现每个目标浓度的最佳测量性能。

无污染

传感器结构干净，仅由PFA湿润材料制成。 这种耐化学传感器还可用于测量半导体工艺中使用的各种化学物质。

高稳定性/重复性准确性

FS ±的重复性准确率为0.5%。

浓度转换函数

浓度转换可以通过输入化学浓度与电导率以及温度特性之间的关系实现。 它特别适合低浓度化学溶液的稀释管理。

模型HF-960EM
测量范围HF：0 - 50%，盐酸：0 - 10%，电导率：0 - 2000 mS/cm
重复性+/- 全比例度（等效输入）的0.5%或更少
线性+/- 0.5% F.S.（全刻度下，输入等效）
传输输出输出点数：4点
接触输出输出点数：5点
接触输入输入数：2点
通信能力RS-485
电源直流 24 V +/- 10% 15W
兼容传感器CM-520系列
湿润区段PFA