HORIBA堀场 HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪

产品目录

HORIBA堀场 HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪

HORIBA堀场 HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪HORIBA堀场 HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪这款高精度TMAH浓度监测器非常适合控制显影液TMAH的浓度。它采用了高度耐化学的碳传感器，实现了对光刻胶显影主要成分TMAH溶液的高精度测量。高精度浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/c…

产品详情

Product Detail

HORIBA堀场  HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪

HORIBA堀场  HE-960H-TM-S 液体浓度监测仪

这款高精度TMAH浓度监测器非常适合控制显影液TMAH的浓度。

它采用了高度耐化学的碳传感器，实现了对光刻胶显影主要成分TMAH溶液的高精度测量。

高精度

浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/cm，重复性±TMAH浓度在0.003 wt%

高精度

浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/cm，重复性±TMAH浓度在0.003 wt%

3种测量类型

它可以测量三种类型的TMAH浓度、电导率和温度。

浓度转换函数

浓度转换可以通过输入化学浓度与电导率以及温度特性之间的关系实现。 它特别适合低浓度化学溶液的稀释管理。

模型HE-960H-TM-S
化学液态物种TMAH
测量范围浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000毫秒/厘米
重复性+/-在0.003wt%内（温度波动在+/-0.5°C以导电率等效输入为限）
线性+/-在0.003wt%内（温度波动在+/-0.5°C以导电率等效输入为限）
传输输出4分
接触输出5分
通信输出RS-485
电源规格24V 直流 +/- 10% 10W
兼容传感器FES-510系列
传感器润湿部件材料GC，PFA，卡雷茨®