HORIBA堀场 HE-960H-TM 液体浓度监测仪HORIBA堀场 HE-960H-TM 液体浓度监测仪该TMAH浓度监测器非常适合控制显影液TMAH的浓度。采用高度耐化学的四极碳传感器,可测量光刻胶显影剂主要成分TMAH溶液的浓度,宽度范围较宽。广泛支持范围通过自动改变小数点,可以测量TMAH浓…
HORIBA堀场 HE-960H-TM 液体浓度监测仪
HORIBA堀场 HE-960H-TM 液体浓度监测仪
采用高度耐化学的四极碳传感器,可测量光刻胶显影剂主要成分TMAH溶液的浓度,宽度范围较宽。
通过自动改变小数点,可以测量TMAH浓度为0.000%~10.00%。
该传感器采用耐化学的四极流透玻璃碳传感器。
它可以测量三种类型的TMAH浓度、电导率和温度。
浓度转换可以通过输入化学浓度与电导率以及温度特性之间的关系实现。 它特别适合低浓度化学溶液的稀释管理。
| 形式 | HE-960H-TM |
|---|---|
| 测量方法 | 电导率测量——浓度转换 |
| 环境使用温度和湿度 | 温度:5°C~45°C,湿度:20~85%(非冷凝) |
| 电源 | DC24V ±10% 10W(最大) |
| 保护结构 | 面板部件:IP65,后壳:IP20,终端部件 IP00(面板安装室内安装类型) |
| 质量 | 大约550克 |
| 贴合规格 | CE标记,FCC第15部分 |
| 兼容传感器 | FES-510系列(分布式碳传感器) |