HORIBA堀场 IT-470F-H 辐射温度计

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HORIBA堀场 IT-470F-H 辐射温度计

HORIBA堀场 IT-470F-H 辐射温度计

HORIBA堀场 IT-470F-H 辐射温度计HORIBA堀场 IT-470F-H 辐射温度计设备安装的非接触辐射温度计配备了自研的高灵敏度热电堆传感器，是行业最高水平，结合多年辐射温度计技术※它是一种高精度的设备安装辐射温度计。它有助于提升半导体和FPD制造等需要高精度温度测量的工…

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Product Detail

HORIBA堀场  IT-470F-H 辐射温度计

HORIBA堀场  IT-470F-H 辐射温度计

设备安装的非接触辐射温度计

配备了自研的高灵敏度热电堆传感器，是行业最高水平，结合多年辐射温度计技术※它是一种高精度的设备安装辐射温度计。
它有助于提升半导体和FPD制造等需要高精度温度测量的工艺稳定性。

  • 高绝对精度：±0.1°C※可重复性（2σ）：0.1°C※实现
     

  • Φ8毫米窄视场，测量距离为150毫米
     

  • 有两种输出：一种是通用电流输出，另一种是受电磁感应噪声影响较小的光学数字输出
     

*这是在特定条件下使用的技能值。

当感应器位于真空腔室内时的温度测量示例：感应器的温度测量可以通过窗户从真空腔室外
测量。

抛光时温度控制的例子 由于
这是非接触式测量，待测物体表面不会有划痕。

测量波长8〜14微m
测量温度范围-50〜200°C
输出分辨率光学数字输出：0.1°C，电流输出：0.025%FS或更低
测量精度※
（光学数字输出）		±4.0°C（目标温度-50°C）
±0.8°C（目标温度-20°C）
±0.6°C（目标温度0°C）
±0.5°C（目标温度23°C）
±0.4°C（目标温度100°C及以上）（
中点用直线插值并四舍五入至小数第二位）
重复性
（光学数字输出）		0.7°C（目标温度-50°C）
0.5°C（目标温度23°C）
0.5°C（目标温度200°C）（
发射率1.000,2σ测量10次）
响应速度
（光学数字输出）		光数字输出：1.4秒或更短（移动平均1秒，响应率95%）
数据采样周期0.1秒
数据传输速率光学数字输出：0.2秒，电流输出：0.1秒
测量视场Φ8毫米或更小/距离150毫米（90%入射光）
发射率设置0.001 - 0.999 可选（出厂套装）
工作温度和湿度范围温度0-55°C，相对湿度35-85%相对湿度（无冷凝水）
电源DC24V±5%
特色光学数字输出（JIS F05型），电流输出4-20mA（负载电阻100Ω，非绝缘）光轴通过法兰调节
尺寸55×44×96mm电源带电流线（标准长度2米）
质量300克以内