OHKURA大仓 工业仪器 RD2210AOHKURA大仓 工业仪器 RD2210A这是一种金属隔膜减压阀,可用于半导体行业,如掺杂和外延,各种化学分析、特殊气体、高纯度气体、腐蚀性气体等。特色■清洁部件隔膜与主体通过金属结合密封,所有产品均经过氦气泄漏检测、无油、无水且清洁。■…
OHKURA大仓 工业仪器 RD2210A
OHKURA大仓 工业仪器 RD2210A
■清洁部件
隔膜与主体通过金属结合密封,所有产品均经过氦气泄漏检测、无油、无水且清洁。
■高多功能性 共有8种高压和低压类型
,提供面板安装和底部安装。
| 物品 | 对于高压 RD210A1□1□ | 低压 RD210A4□2□ |
|---|---|---|
| 耐压 | 最大24.5MPa | 最大2.94MPa |
| 初级压力 | 最大14.7MPa | 最大2MPa |
| 设定压力范围 | 171.6kPa 343kPa 686kPa 1372kPa 2059kPa | 171.6kPa 343kPa 686kPa |
| 有效孔径 | φ0.7 | φ2 |
| CV价值 | 0.015 | 0.1 |
| 初级压力特性*1 | 0.5% *1 一次压力特性(设定压力波动范围/一次压力波动范围)×100(10升/分钟时) | 1.3% *1 初级压力特性(设定压力波动范围/初级压力波动范围)×100(10升/分钟时) |
| 可重复性 | ±0.98kPa | |
| 滞后效应 | ±3.92kPa | |
| 外部泄漏 | 1.013×10-10Pa·m3/s(He)或更小 | |
| 内部泄漏 | 1.013×10-8Pa·m3/s(氦)或更低 | |
| 流体接触材料 | SUS316,SUS316L,PCTFE | |
| 工作温度范围 | -10~80°C | |
| 移植版本 | 60°IN×2 出×2 | 90°内×1 外×2 |
| 连接端口 (连接录像机) | 1/4NPT Rc1/4 VCR1/4GR *2 *2 VCR是Swagelok公司的注册商标。 | |
| 质量 | 920克 | |
| 面板切割 | φ33 | |
高斯摩代理品牌:EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科
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