ULVAC爱发科 真空泵 MS600A

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ULVAC爱发科 真空泵 MS600A

ULVAC爱发科 真空泵 MS600A

ULVAC爱发科 真空泵 MS600AULVAC爱发科 真空泵 MS600A特色通过对转子轴和汽缸等主要部件施加特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放效率。从大气压到达到压力的整个压力范围内，均可实现连续运行。用途用于电子元件和半导体制…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  MS600A

ULVAC爱发科  真空泵  MS600A

特色

  • 通过对转子轴和汽缸等主要部件施加特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。

  • ULVAC独特的螺旋式转子轴设计实现了高粉末排放效率。

  • 从大气压到达到压力的整个压力范围内，均可实现连续运行。

用途

  • 用于电子元件和半导体制造设备、
    蚀刻设备、灰烬设备、等离子体清洗设备等的真空排气系统。

  • 真空热处理炉
    的真空排气系统、烧结炉、渗碳炉等。

  • 锂电池制造设备、
    电极干燥设备、消泡设备、液体注入设备等的真空排气系统。

  • 用于医疗和食品相关设备的真空排气系统，冻
    干设备、真空干燥设备等。

规格

模型MS120AMS600AMS1200A
最大排气转速 *1m3/h115560980
达到压力爸≦0.6≦0.1
供电电压三相，50/60Hz，交流电200-240V±10%或三相，50/60Hz，交流380-480V±10%
近似功耗 *2千瓦2.43.13.1
冷却水体积L/min>4.0
净化气体体积 *1SLM0~50
最大水蒸气通量
*1*3		公斤/小时1.5
噪声值 *2dB（A）616264
进气口KF50（水平）/ VG50（垂直）ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量*4KG139241264
贴合规格CE、cTUVus
标准配件快速说明书，电源连接器，防水线夹，信号连接器，电源连接器保护罩，1个专用消音器
车身选项电源电压：200V级或400V级
密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟弹性体（FFKM）
外部选项外壳排气口、抗震装置、兼容LR单元（进气口、信号）、净化气体阀

*1：典型值
*2：达到压力时
*3：这是使用净化气体时处理的最大水蒸气量。
*4：包括消音器


高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

  • 优势品牌：USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
    S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
    AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
    MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
    SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
    RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

    优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
    变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
    地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

    克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科