ULVAC爱发科 真空泵 LS120

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ULVAC爱发科 真空泵 LS120

ULVAC爱发科 真空泵 LS120

ULVAC爱发科 真空泵 LS120ULVAC爱发科 真空泵 LS120特色接近大气压的排气速度可达80米3 与传统真空泵相比，泵送时间可缩短约20%。标配专用消音器还消除了干式真空泵特有的噪音问题。 峰值压力下的噪声水平低于61 dB（A），即使在运行中也无需担心。 (*1)C规范标配的E…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  LS120

ULVAC爱发科  真空泵  LS120

特色

  • 接近大气压的排气速度可达80米3 与传统真空泵相比，泵送时间可缩短约20%。

  • 标配专用消音器还消除了干式真空泵特有的噪音问题。 峰值压力下的噪声水平低于61 dB（A），即使在运行中也无需担心。 (*1)

  • C规范标配的ECO-SHOCK技术是ULVAC原创的节能技术。 峰值压力下的功耗可降至低于0.6千瓦。 (*2)

  • “Model：LS”不需要轴密封气体。 在主要使用氮气和空气等废气的清洁工艺中，运行成本可以降低。 (*3)

  • 对于想进一步提升排气速度的用户，我们建议与机械助力泵结合使用。 合计，120~1200米3/h 可达。

用途

C 规格：清洁工艺（LS***A-C）
特点：低功耗类型，内置生态冲击
应用：用于清洁排气，如空气排气和氮气，溅射/沉积/粘结/负载锁室/TMP辅助等。

L 规格：光过程（LS***A-L）
特点：具表面处理和净化功能的
光工艺类型 应用：适用于水蒸气和挥发性化学液体蒸发、真空干燥、冻结干燥、灰化、一般工业应用等光工艺。

规格

模型

（C：C 规范）（
L：L 规范）

LS120ALS300ALS600ALS1200A
CLCLCLCL
最大泵送速度m3/h1203806001000
达到压力爸≦0.6≦0.1
电源压力200V级：三相，50/60Hz，交流200-240V或400V级：三相，50/60Hz，交流380-480V
功耗大纲 *1千瓦0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷却水体积L/min> 2.0> 4.0
驳船气体体积 *2SLMー0~50ー0~50ー0~50ー0~50
最大水蒸气处理能力 *3公斤/小时ー1.5ー1.5ー1.5ー1.5
噪声值dB（A）61616264
进气口KF（水平）/ VG50（垂直）ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量KG142220242266
贴合规格CE、cTUVus
标准配件说明书（CD-R）、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩
车身选项电压规格：200V级或400V级，密封材料：全氟弹性体（仅L型）
外部选项MBP空气进气转换法兰、外壳排气口、抗震紧固件、LR兼容单元（进气口、信号）、净化气体阀

*1 在峰值压力下
*2 C规范不能流动驳船气体。
*3 这是使用驳船气体时处理的最大水蒸气量。
*4 C 规范并非防泄漏。


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