ULVAC爱发科 真空泵 HR60

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ULVAC爱发科 真空泵 HR60

ULVAC爱发科 真空泵 HR60

ULVAC爱发科 真空泵 HR60ULVAC爱发科 真空泵 HR60特色在高温区域，可以以气态排放由均质化、心血管损伤（CVD）、蚀刻等产生的升华废气物质。“Model：UR”甚至可能比“Model：HR”更性感。由于密封结构和氦气密封罐装发动机，极其安全。在1000毫秒内实施瞬时停止措施…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  HR60

ULVAC爱发科  真空泵  HR60

特色

  • 在高温区域，可以以气态排放由均质化
    、心血管损伤（CVD）、蚀刻等产生的升华废气物质。
    “Model：UR”甚至可能比“Model：HR”更性感。

  • 由于密封结构和氦气密封
    罐装发动机，极其安全。

  • 在1000毫秒内实施瞬时停止措施
    。

  • 优异的耐腐蚀性 主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的
    特殊表面处理作为标准。 在排走腐蚀性气体时减少泵内腐蚀。

  • 通信功能
    ：可读取泵运行状态数据、警告/警报历史。 通过专用软件和计算机通信实现集中监控。

用途

  • CVD设备

  • 蚀刻设备

  • 灰烬处理设备

  • ALD、ALH等。

规格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
所用泵DRPHR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
泵送速度		50Hzm3/h
（L/min）		62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60Hzm3/h
（L/min）		80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
达到压力爸50.67
最大入口压力
（入口压力）
大气压 *1
最大排气压力
（排放压力）		爸1~大气压
进气口（CE规范）VG50（KF50）VG80（KF50）VG80（KF80）VG100（KF100）
排气口KF40
质量KG180245275370420
电力三相真空（Hz）200(50/60), 220(60)
现值常规时间A7.1
（200伏时）		11.2
（200伏）		7.8
（200伏时）		12.9
（200伏）		15.4
（200伏时）
最大值A7.3
（200伏时）		11.8
（200伏时）		8.1
（200伏时）		13.8
（200伏时）		18.9
（200伏时）
冷却水 暂时压力MPa0.1~0.3
冷却水进出口压力差MPa>0.1
冷却水流量L/min>5.0
净化气体初级压力MPa0.1~0.5
次级压力MPa0.05~0.1
N2 清洗行动轴心国SLM5
加斯·巴拉SLM0~45

*1 HR300、HR600和HR1200不应在200Pa或更高的入口压力下连续运行。



高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、SONIC索尼克、SANKO三高、TOPCON拓普康、TOKI东机产业、NEWKON新光、HAYASHI林时计、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山电机、OHKURA大仓、ULVAC爱发科

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    S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
    AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野 、IMV艾目微
    MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东、KURABO仓纺
    SHOWA昭和、THINKY新基、SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
    RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

    优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
    变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
    地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置高斯摩代理品牌：EYE岩崎、SEN日森、CCS晰写速、NPM日脉、REVOX莱宝

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