ULVAC爱发科 真空泵 GR90A

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ULVAC爱发科 真空泵 GR90A

ULVAC爱发科 真空泵 GR90A

ULVAC爱发科 真空泵 GR90AULVAC爱发科 真空泵 GR90A特色可用于重载应用，如反复抽空大气~真空或高压区连续运行非常适合需要高通量的装载锁房（准备和取出房）的排气兼容通用感应电机可选安装防爆电机等特殊电机采用多电压兼容电机用途真空排放的清洁气体，如空气、惰…

产品详情

Product Detail

ULVAC爱发科  真空泵  GR90A

ULVAC爱发科  真空泵  GR90A

特色

  • 可用于重载应用，如反复抽空大气~真空或高压区连续运行

  • 非常适合需要高通量的装载锁房（准备和取出房）的排气

  • 兼容通用感应电机

  • 可选安装防爆电机等特殊电机

  • 采用多电压兼容电机

用途

  • 真空排放的清洁气体，如空气、惰性气体

  • 各种沉积设备的准备和取出室的排气。

  • 一般工业应用，如真空干燥、真空气体置换和真空除泡

  • 真空气体置换，如真空绝缘和气体填充

规格

模型GR60AGR90AGR180A
最大泵送速度50Hzm3/h（L/min）62(1860)112(1030)183(3100)
60Hzm3/h（L/min）80(1333)126(2100)237(3850)
达到压力 *1爸5.0
最大入口压力
大气压
最大排气压力爸1~大气压
进气口VG50VG80
排气口NW40
DRP表面处理〇
发动机功率 [千瓦]2.23.77.5
电压 [V]50Hz200~240/380~415
60Hz200~240/380~460
质量KG128188268
冷却方法冷却水
一次供水压力		MPa0.1~0.3
冷却水
进出口压力差		MPa>0.1
冷却水温度°C10~30 *2
冷却水流量L/min>5.0
氮气一次供水压力MPa0.1~0.5
次级侧
调节压力 *3		MPa0.05~0.1（运行时）
轴心国SLM5.0 *4

*1 极限压力是氮气（轴密封气）为5.0 SLM时的数值。
*2 不要浓缩。
*3 这是调节器需调节压力表的数值。
*4 氮气（轴密封气体）的流量固定为5.0 SLM。



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